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DZS500电子束蒸发系统
编号:1
类别:电子束蒸发
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

      设备用途

          用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。

       

      设备组成

          系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

    极限真空度:≤6.67×10-5Pa

    抽速:45分钟可达到6.67×10-4Pa

    基片尺寸:4英寸x1片;

    加热炉最高温度 800°C

    热阻蒸发组件:2套;

    新型电子枪及电源:电子枪最大功率8KW10KV,800mA)可调;

    水冷式坩埚: 4穴坩埚,每个容量约为11 ml

    膜厚控制仪(1个探头):1套;

    分子泵系统:1套;

    控制系统:用工控机进行系统操作,可显示或自动控制的功能有:电子枪、膜厚控制仪、样品旋转及加热、气路、抽气;

    冷却水循环机及水路组件:1套;

    离子轰击系统组件:1套;

    公司:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 

    地址:沈阳市浑南新区新源街1

    销售电话:

    售后电话:

    传真:

    邮箱:sales@sky.tamsaati.com

    网址:tamsaati.com

    开户行:建行沈阳浑南新区产业园分理处

    账号:2100 1394 6010 5958 1266

    纳税号:912101 0041 0581 2660

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